乙硼烷Diborane 5.0N

组分 Components

规格 Specification

乙硼烷 Diborane（B2H6）

99.999%

氮 Nitrogen (N2) 

≤2 ppmv

氧 Oxygen (O2) 

≤0.5 ppmv

二氧化碳 Carbon Dioxide (CO2)

≤2 ppmv

甲烷 Methane (CH4) 

≤4 ppmv

氢Hydrogen (H2) 

≤100 ppmv

水 Water (H2O)

≤0.1 ppmv

三氟化硼 Boron Trifluoride（BF3）

≤50 ppmv

Teraborane(B4H10)

≤180 ppmv

Pentaborane(B5H9）

≤10 ppmv

Pentaborane（B5H11）

≤10 ppmv

Hexaborane（B6H10）

≤10 ppmv