乙硼烷混氦气
|
乙硼烷/氦气混合气 B2H6/He Mixture |
||
|
Components （组分） |
Content(含量) |
|
|
B2H6, 5N |
≥0.1% |
|
|
He，6N |
Balance （平衡气） |
|
|
组分 Components |
规格Specification |
|
|
乙硼烷 Diborane（B2H6）5N |
99.999% |
|
|
氮 Nitrogen (N2) |
≤2 ppmv |
|
|
氧 Oxygen (O2) |
≤0.5 ppmv |
|
|
二氧化碳 Carbon Dioxide (CO2) |
≤2 ppmv |
|
|
甲烷 Methane (CH4) |
≤4 ppmv |
|
|
氢Hydrogen (H2) |
≤100 ppmv |
|
|
三氟化硼 Boron Trifluoride（BF3） |
≤50 ppmv |
|
|
Teraborane(B4H10) |
≤180 ppmv |
|
|
Pentaborane(B5H9） |
≤10 ppmv |
|
|
Pentaborane（B5H11） |
≤10 ppmv |
|
|
Hexaborane（B6H10） |
≤10 ppmv |
|
|
氦气 Helium（He）6N |
99.9999% |
|
|
水 Water(H20) |
≤0.5ppmv |
|
|
氧 Oxygen (O2) |
≤0.5 ppmv |
|
|
氮 Nitrogen (N2) |
≤0.5 ppmvv |
|
|
甲烷 Methane (CH4) |
≤0.1 ppmv |
|
|
一氧化碳Carbon Monoxide （CO） |
≤0.1 ppmv |
|
|
二氧化碳Carbon Dioxide (CO2) |
≤0.1 ppmv |
|
|
包装规格 |
||
|
气瓶大小 Cylinder Size |
47L |
|
|
充装量 Fill Weight (kgs) |
100Bar |
|
|
阀门 Valve Connection |
CGA350/DISS632 |
|
|
尺寸 Cylinder Dimensions(cm) |
23x140 |
|